ZHCAEP9B July 2015 – November 2024 DLP7000UV , DLP9000XUV , DLP9500UV
5 高倍率縮小系統(tǒng)
使用 DLP 技術的投影系統(tǒng)通常使用照明設計，如圖 5-1 所示。請注意，平板 狀態(tài)不是 DMD 微鏡工作狀態(tài)，但在設計光學系統(tǒng)時必須考慮該狀態(tài)。
圖 5-1 典型投影系統(tǒng)光學元件但是，某些光刻和 3D 打印系統(tǒng)使用 DMD 陣列圖像縮小來處理非常小（低至 1μm 或更?。┑奶卣?。圖 5-2 展示了高倍率縮小系統(tǒng)輸出孔徑的小尺寸與典型投影光學系統(tǒng)的小尺寸。
圖 5-2 投影透鏡入射光瞳處的光分布（典型投影系統(tǒng)與高縮小倍數(shù)）對于高縮小倍數(shù)典型的這些相對較小的孔徑，應考慮分為兩個區(qū)域：非相干源和相干源。